X 方向：180mm

Z1（傳感器）：±15mm

立柱高度：500mm（有效量程）

最小內(nèi)孔：20mm （標配）

測量范圍

X 方向（L=X 移動導

軌距離）精度：±（1+0.02L）μm

Z 方向（H=Z 軸方向測

?

量高度）精度：±（0.8+0.05H）μm

圓弧精度：≤±（1＋R/8）μm

角度誤差：≤±1

直線度：≤0.5μm/100mm

輪廓儀部份技術(shù)參數(shù)

Z1（傳感器）：±500μm

示值誤差：±（10nm+0.05A）

測量重復性：3%

殘值噪聲：≤0.005μm

截止長度：0.08、0.25、0.8、2.5、8（mm）

評定長度：1.2.3.4.5

粗糙度部份技術(shù)

參數(shù)

類型：光柵式

分辨率：0.1μm

傳感器

分辨率：0.1μm

產(chǎn)地：國產(chǎn)

X 軸

上升 77° 下降 88°

爬坡角度

0.2mm-0/8mm/s（分四檔自動調(diào)速）

測量速度（輪廓）

X 方向：180mm

Z1（傳感器）：±15mm

立柱高度：500mm（有效量程）

最小內(nèi)孔：20mm （標配）

測量范圍

X 方向（L=X 移動導

軌距離）精度：±（1+0.02L）μm

Z 方向（H=Z 軸方向測

?

量高度）精度：±（0.8+0.05H）μm

圓弧精度：≤±（1＋R/8）μm

角度誤差：≤±1

直線度：≤0.5μm/100mm

輪廓儀部份技術(shù)參數(shù)

Z1（傳感器）：±500μm

示值誤差：±（10nm+0.05A）

測量重復性：3%

殘值噪聲：≤0.005μm

截止長度：0.08、0.25、0.8、2.5、8（mm）

評定長度：1.2.3.4.5

粗糙度部份技術(shù)

參數(shù)

類型：光柵式

分辨率：0.1μm

傳感器

分辨率：0.1μm

產(chǎn)地：國產(chǎn)

X 軸

上升 77° 下降 88°

爬坡角度

0.2mm-0/8mm/s（分四檔自動調(diào)速）

測量速度（輪廓）