320μm

Z軸（垂直）

17.5mm

X軸（水平）

0．001μm/±20μm

0．002μm/±40μm

0．004μm/±80μm

Z軸（垂直）

Ra、Rz、Rq、Rt、Rmax、Rc、Rp、Rv、R3z、R3y、

Rz(JIS)、Ry(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr、RPc

參數(shù)

ISO4287國際標(biāo)準(zhǔn)；ANSI B46.1美國標(biāo)準(zhǔn)；

DIN4768德國標(biāo)準(zhǔn)；JIS B601日本標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)

支承率曲線，粗糙度，原始輪廓，濾波波形

圖形

RC,PC-RC,Gauss,D-P濾波器

濾波器

0.25,0.8,2.5mm

取樣長度(lr)

Ln= lr×n? ? n=1~5

評定長度（ln）

±20μm; ±40μm; ±80μm; ±160μm;

量程設(shè)置

位移式差動(dòng)電感式

測量原理

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

觸針

<4mN

測力

硬質(zhì)合金，滑行方向半徑40mm

導(dǎo)頭

lr=0.25,? ?Vt=0.135mm/s

lr=0.8,? ? Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,? ? Vt=1mm/s

返回? ? ? Vt=1mm/s

滑行速度

不大于±10%

示值誤差

不大于3%

示值變動(dòng)性

內(nèi)置鋰離子充電電池，用DC5V,800mA充電器充電

電源

158x63.5x46mm

外形尺寸

約300g

重量

溫度：- 20℃ ~? 40℃? ? ?濕度：< 90% RH

工作環(huán)境

溫度：- 40℃? ~? ?60℃? ?濕度：< 90% RH

儲(chǔ)存運(yùn)輸環(huán)境

320μm

Z軸（垂直）

17.5mm

X軸（水平）

0．001μm/±20μm

0．002μm/±40μm

0．004μm/±80μm

Z軸（垂直）

Ra、Rz、Rq、Rt、Rmax、Rc、Rp、Rv、R3z、R3y、

Rz(JIS)、Ry(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr、RPc

參數(shù)

ISO4287國際標(biāo)準(zhǔn)；ANSI B46.1美國標(biāo)準(zhǔn)；

DIN4768德國標(biāo)準(zhǔn)；JIS B601日本標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)

支承率曲線，粗糙度，原始輪廓，濾波波形

圖形

RC,PC-RC,Gauss,D-P濾波器

濾波器

0.25,0.8,2.5mm

取樣長度(lr)

Ln= lr×n? ? n=1~5

評定長度（ln）

±20μm; ±40μm; ±80μm; ±160μm;

量程設(shè)置

位移式差動(dòng)電感式

測量原理

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

觸針

<4mN

測力

硬質(zhì)合金，滑行方向半徑40mm

導(dǎo)頭

lr=0.25,? ?Vt=0.135mm/s

lr=0.8,? ? Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,? ? Vt=1mm/s

返回? ? ? Vt=1mm/s

滑行速度

不大于±10%

示值誤差

不大于3%

示值變動(dòng)性

內(nèi)置鋰離子充電電池，用DC5V,800mA充電器充電

電源

158x63.5x46mm

外形尺寸

約300g

重量

溫度：- 20℃ ~? 40℃? ? ?濕度：< 90% RH

工作環(huán)境

溫度：- 40℃? ~? ?60℃? ?濕度：< 90% RH

儲(chǔ)存運(yùn)輸環(huán)境